RTP真空退火炉真空合金炉 晨立电子
机械设备
即墨
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详情信息
RTP管式退火炉、真空合金炉用于先进材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备，可根据客户不同需求定制。
主要技术参数
◆工艺管数量：1管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型
◆工作温度范围：200～1100℃
◆恒温区长度及精度：±1℃/600mm
◆气路系统气密性：1×10-7pa.m3/s
◆真空度：3×10-4Pa
◆升温速度： 60度/min
◆降温速度： 60度/min
◆控制方式：工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
主要技术参数
◆工艺管数量：1管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型
◆工作温度范围：200～1100℃
◆恒温区长度及精度：±1℃/600mm
◆气路系统气密性：1×10-7pa.m3/s
◆真空度：3×10-4Pa
◆升温速度： 60度/min
◆降温速度： 60度/min
◆控制方式：工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制