晶圆高真空退火炉 低温退火 晨立电子
机械设备
即墨
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详情信息
晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准25片
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:百级洁净
真空度:5*10-4 Pa
使用温度:200-550度
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准25片
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:百级洁净
真空度:5*10-4 Pa
使用温度:200-550度