晶圆高真空退火炉低温退火晨立电子

机械设备即墨

更新时间：2026-04-10 信息ID：57940 浏览次数：5 位置：青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼

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晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。
尺寸：4-8英寸晶圆
晶圆舟：标准25片
控温精度：±3℃
升温速率：10℃/min
洁净等级：百级洁净
真空度：5*10-4 Pa
使用温度：200-550度