蓝宝石抛光液
机械设备
昆山
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详情信息
蓝宝石抛光液是以高纯度硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低的金属离子型抛光产品。
蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。
如：硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
蓝宝石抛光液的特点：
1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。
2.高纯度（Cu含量小于50ppb），有效减小对电子类产品的沾污。
3.高平坦度加工，蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。
蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
蓝宝石抛光液的型号：
碱性型号（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D
酸性型号（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D
粒径(nm)：10~3030~5050~7070~9090~110110~130
外观：乳白色或半透明液体
比重1.15±0.05
组成SiO2：15~30%
Na2O：≤0.3%
重金属杂质：≤50ppb
蓝宝石抛光液主要用于蓝宝石衬底的抛光。还可广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。
如：硅片、化合物晶体、精密光学器件、宝石等的抛光加工。
蓝宝石抛光液的特点：
1.高抛光速率，利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。
2.高纯度（Cu含量小于50ppb），有效减小对电子类产品的沾污。
3.高平坦度加工，蓝宝石抛光液是利用SiO2的胶体粒子进行抛光，不会对加工件造成物理损伤，达到高平坦化加工。
蓝宝石抛光液根据pH值的不同可分为酸性抛光液和碱性抛光液。
蓝宝石抛光液的型号：
碱性型号（pH:9.8±0.5）：SOQ-2A、SOQ-4A、SOQ-6A、SOQ-8A、SOQ-10A、SOQ-12D
酸性型号（pH:2.8±0.5）：ASOQ-2A、ASOQ-4A、ASOQ-6A、ASOQ-8A、ASOQ-10A、ASOQ-12D
粒径(nm)：10~3030~5050~7070~9090~110110~130
外观：乳白色或半透明液体
比重1.15±0.05
组成SiO2：15~30%
Na2O：≤0.3%
重金属杂质：≤50ppb